Дефекты кристаллической структуры полупроводниковых материалов

В настоящем учебном пособии рассмотрены основные типы дефек-
тов кристаллической решётки и их влияние на свойства полупроводни-
кового кристалла.
Полупроводниковый кристалл — основа микроэлектроники. Созда-
ние полупроводниковых материалов со строго заданными параметрами
электрических и оптических свойств — сложнейший технологический
процесс. Малейшие отклонения от заданного состава полупроводнико-
вого материала, как широко известно, приводят к неконтролируемому
изменению его свойств.
Менее широко известно, что практически такую же роль играет сте-
пень дефектности полупроводникового кристалла, т. е. количество и ка-
чество отклонений от идеальной кристаллической структуры, появляю-
щихся в кристалле в процессе его роста под влиянием многочисленных
внешних факторов: диффузионных ограничений, температурных флук-
туаций, побочных химических реакций и т. д.
Книга адресована студентам, специализирующимся по направле-
ниям «Физическая химия», «Неорганическая химия», и может исполь-
зоваться в качестве учебного пособия к курсу «Химия кристаллических
полупроводников».